1. 准备申请材料：包括个人身份证明、港澳居留证或其他相关证明文件、结婚证明、子女证明等。
2. 提交申请材料：将准备好的申请材料提交到有关港澳自治区的公安机关办理申请。
3. 审核申请材料：公安机关会对申请材料进行详细的审查和核实，并进行初步审核。
4. 面试：审核通过的申请人需要参加面试。面试主要考察申请人与香港澳门的社会、经济、文化等方面的了解程度及待遇申请合理性等。
5. 审批：面试合格后，公安机关会进行最终审批，并决定是否批准申请人定居。
6. 领取居留证：公安机关批准定居申请后，申请人需要到有关部门领取港澳居民居留证。
需要注意的是，港澳居民定居申请流程可能在不同地区略有不同，具体以当地公安机关和相关部门的规定为准。